单位灭火剂灭火效能与灭火剂粒子粒径密切相关，灭火组分临界粒径愈大，小于临界粒径的灭火粒子分数愈大，则灭火效果愈好。若将灭火剂粒子粒径减少至临界粒径时，则灭火效能会大大提高。当超细干粉灭火剂粒径小于临界粒径时，灭火剂粒子全部起灭火作用，干粉灭火效能大大提高，用量明显减少。
超细灭火粒子比表面积大，活性高，能在空气中悬浮数分钟，形成相对稳定的气溶胶，不仅灭火效能很高，且使用方法也完全不同于一般传统干粉灭火剂，它类似卤代烷淹灭式灭火。例如，KHCO3气溶胶灭火浓度仅为1301卤代烷的2.0%，灭火效能却相当于它的50 倍，且灭火后沉积物不明显，对火场造成污染很少。KHCO3、NaCl、KCl、K2SO4、NH4H2PO4、NaHCO3都可以用来制备气溶胶灭火剂。
气溶胶灭火剂粒径要求小于<5μm，最好低于0.5μm。因为将灭火剂粒径减少至5μm，甚至0.5μm时，灭火效能急剧上升，灭火效能是常规灭火剂能力几十倍，用量也仅为其百分之几。其原因是超细粉体比表面大，活性高，形成均匀分散、悬浮于空气中相对稳定的气溶胶，受热分解速度快，捕获自由基能力强，故灭火效能急剧提高。
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